晶圓劃片機(jī)主軸轉(zhuǎn)速對(duì)刀片壽命及切割品質(zhì)的影響

在晶圓劃切過(guò)程中，不僅需要選擇適合的劃片刀，而且要關(guān)注加工條件的優(yōu)化。合適的劃片刀和良好的加工條件，對(duì)于獲得滿(mǎn)足工藝要求的切割效果都起著至關(guān)重要的作用。

加工條件主要涉及以下兩個(gè)方面：

什么是主軸轉(zhuǎn)速？

刀片固定在精密切割設(shè)備主軸上，并以非常高的速度旋轉(zhuǎn)。主軸轉(zhuǎn)速通常在每分鐘10,000至60,000轉(zhuǎn)之間。刀片旋轉(zhuǎn)速度是影響切割效果的關(guān)鍵因素之一。

需要注意的是，在相同轉(zhuǎn)速下，刀片外徑不同，外圓線速度也是不同的。刀片外徑越大，外圓線速度越大，如下圖所示：

不同的刀片外徑為了獲得相同的外圓線速度，必須調(diào)整轉(zhuǎn)速，以保證切割質(zhì)量及穩(wěn)定性。

主軸轉(zhuǎn)速對(duì)刀片壽命的影響

當(dāng)主軸轉(zhuǎn)速增加時(shí)，刀片的切割能力提高，金剛石的加工負(fù)荷減少，從而提高了刀片壽命，同時(shí)降低了被切產(chǎn)品正面崩邊產(chǎn)生的風(fēng)險(xiǎn)。另一方面，金剛石加工負(fù)荷減少會(huì)阻礙刀片自銳，這往往導(dǎo)致被切產(chǎn)品背面崩邊發(fā)生率的增加，此時(shí)降低主軸轉(zhuǎn)速，加速刀片自銳，就是減少被切產(chǎn)品背面崩邊發(fā)生率的有效措施之一。

主軸轉(zhuǎn)速對(duì)切割品質(zhì)的影響

不同主軸轉(zhuǎn)速下的正面和背面崩邊尺寸的變化

相同切割條件下，主軸轉(zhuǎn)速越高被切產(chǎn)品正面崩邊尺寸越小，背面崩邊尺寸越大。

不同主軸轉(zhuǎn)速下的正面切割刀痕變化

相同切割條件下，主軸轉(zhuǎn)速越高，刀片蛇形切割的發(fā)生概率越高。

為了使被切產(chǎn)品保持良好的正面和背面切割質(zhì)量表現(xiàn)，并達(dá)到預(yù)期的使用壽命，需要選擇一個(gè)主軸轉(zhuǎn)速平衡點(diǎn)。

主軸轉(zhuǎn)速與加工質(zhì)量的平衡點(diǎn)

由于主軸轉(zhuǎn)速對(duì)正面、背面崩邊尺寸和刀片壽命均有影響，因此有必要根據(jù)被切產(chǎn)品、刀片規(guī)格和加工質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)對(duì)主軸轉(zhuǎn)速進(jìn)行平衡選擇。